西格玛光机真空用高稳定不锈钢镜架 / VMHX是在刚性和热平衡特性都很好的MHX系列空心框架结构镜架基础上，又增加了适用于真空环境的新款式。

VMHX系列是真空用高稳定不锈钢镜架是适用于真空腔内使用的，低释气不锈钢材质的镜架系列。

细节：

·对产品做磁场检测后做真空包装，保证了超高洁净度。

·滑动部的润滑油脂采用了低释气的，真空用油脂BARRIERTA SUPER IS/V。

·粘接部采用了真空用低释气的粘接剂。

·镜片的固定，采用了3点支撑的，并使用螺钉调整压力的片簧结构。

·固定镜片的片簧的压力调整用螺钉的扭矩建议值为3?5 N·cm。

·VMHX-*F-R 系列镜架，其镜片从后侧装入，镜片的反射面将被定位在特定位置。因此，不同厚度的反射镜的反射面位置，都能和立柱的安装中心位置保持一致。 (VMHX-*F/A 系列镜架，是从镜架前侧装入的。)

·VMHX-*F/F-R系列有3个调整旋钮，既可调整俯仰?方位的角度，还可调节镜面的前后位置。（MHX-***A系列只有2个调整旋钮，只能调整俯仰和方位。）

·镜架上备有使用粘接法固定镜片的工艺孔，另外还备有防止镜架转动的定位销孔。

技术指标：

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