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西格玛光机自动摆动滑台精度测量

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自动摆动滑台
西格玛光机自动旋转平台精度测量指南

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自动旋转滑台
西格玛光机直线运动自动滑台精度测量指南

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自动滑台
西格玛光机OSMS(RE)-65A-M2内置角度编码器α轴一体型导轨自动摆动平台 (2相步进电

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西格玛光机OSMS(RE)-40A-M2内置角度编码器α轴一体型导轨自动摆动平台 (2相步进电

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西格玛光机OSZ Z轴连接板

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配件
西格玛光机OSMS(RE)-ZFW-M2内置角度编码器薄型ZF自动平台(2相步进电机)

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X轴自动滑台
西格玛光机OSMS(RE)-ZF-M2内置角度编码器ZF自动平台(2相步进电机)

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X轴自动滑台
西格玛光机SHRC-203-M2 3轴平台控制器(2相步进电机专用)

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西格玛光机UCMS25-10X-M2超小型X轴自动平台(2相步进电机)

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西格玛光机NFS-X 50nm分辨率闭环控制平台

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西格玛光机NFS-PX 10nm分辨率闭环控制平台

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西格玛光机NFS-UPX 1nm分辨率闭环控制平台

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闭环控制平台
西格玛光机HST(GS)-X内置光栅尺自动平台系统

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西格玛光机GOHM-A摆动超小型5相步进电机自动平台

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自动摆动滑台
西格玛光机OSMS-YAW系列自动转动平台（5相步进电机）

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自动旋转滑台
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