真空用超声波驱动装置

由于真空光学实验环境的特殊性，其搭建光学系统所配置的光学元器件都必须要满足一个条件，那就是可以在高真空环境下安全的正常的运作，驱动装置也不列外。

下面，芬创科技为大家介绍一款可以在高真空腔内进行远程操作的低释气超声波驱动装置。

真空用超声波驱动装置

·具有小型化，行程13mm，分辨率<1μm，速度可达0.5mm/sec。

·运动部使用了高级真空油脂（BARRIERTA SUPER IS/V），尽可能的降低了外部环境对光学实验的影响。

·可以和位移台或镜架等组合使用(如需改变前端端面形状或与真空用镜架VMHG系列组合使用，请至芬创商城联系我们)。

真空用超声波驱动装置根据尺寸规格的不同，分为VPKA-13ACT和VPKAS-13ACT两个型号：

VPKA-13ACT


VPKAS-13ACT